在本文中，深圳大学基于电化学阻抗转换原理设计并制造了一种具有超低检测限的柔性微型热流速传感器。通过提出的理论和CFD模型系统地研究了该传感器的两种传感模式，包括单对电极模式和双对电极模式。为了保证其灵活性和生物相容性，该流量传感器被设计和制造在100μm厚的聚酰亚胺基板上。在单对电极模式下，对于0μm/s至110μm/s的离子溶液(0.9% NaCl)，所制造的柔性流量传感器在0~45μm/s的线性范围内实现了523PPM/(μm/s)的最高灵敏度，而在双对电极模式下其灵敏度提高到637PPM/(μm/s)。传感器的高灵敏度使其能够在单对电极模式和双对电极模式下分别检测低至4.9μm/s和5.5μm/s的超低溶液流速。简而言之，在测量微流体和生物医学中的超低流体流速方面，这种基于电化学阻抗的高灵敏度流量传感器将是一种非常有用的设备。

原文：“An Electrochemical Impedance-Based
Flexible Flow Sensor with Ultra-Low Limit of Detection,” IEEE Sensors Journal,
vol. 22, no. 2, pp. 1180-1187, 2022.

本文中进行交流阻抗EIS等电化学测试的仪器为荷兰PalmSens，型号：PalmSens4便携式电化学分析仪，由雷迪美特中国有限公司提供。

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